技術(shù)參數(shù)：
- 第一標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
- 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
- 準(zhǔn)直系統(tǒng)－－－－－－－－－－－－－－－－－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm
- 光源規(guī)格－－－－－－－－－－－－－－－－－激光ZN18(He-Ne)
- 干涉室尺寸－－－－－－－－－－－－－－－－Φ480×380×285mm
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選配件一：
精密升降工作臺(tái)（適用GⅠ、GⅡ型）
用途：
主要用于平晶、平行平晶等非鍍膜面高精度平面度的測(cè)量與檢定以及儀器采用鈉光或汞光照明時(shí)的測(cè)量。 |
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選配件二：
透檢工作臺(tái)（適用GⅠ型）
用途：
主要用于超薄平行平板的波前誤差測(cè)量、光學(xué)平板微小楔角相對(duì)干涉測(cè)量以及光學(xué)材料折射率均勻性的偏差判斷。 |
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選配件三：
高反射面測(cè)量工作臺(tái)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）
用途：
主要用于鍍反射膜及高折射率材料（如硅、鍺等材料）表面精度的測(cè)量與檢定。 |
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選配件四：
顯示監(jiān)控系統(tǒng)（適用GⅠ型）
用途：
顯示監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用，可減輕操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度，并可實(shí)施多人判讀與分析，以達(dá)到教學(xué)與監(jiān)控的目的。 |
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選配件五：
計(jì)算機(jī)影像系統(tǒng)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）
用途：
影像系統(tǒng)的應(yīng)用，可將被檢測(cè)鏡面的原始資料通過(guò)計(jì)算機(jī)保存和傳輸，以達(dá)到資料存檔及遠(yuǎn)程監(jiān)控、驗(yàn)收評(píng)定質(zhì)量的目的。 |
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選配件六：
倍率成像測(cè)微系統(tǒng)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）
用途：
主要用于目視精確量值的索得及小型被測(cè)件干涉條紋按要求放大測(cè)量與判讀。
技術(shù)參數(shù)：
測(cè)微目鏡放大率15X
倍率成像測(cè)微目鏡適用范圍見(jiàn)下表：
規(guī)格 size |
焦距
focal ength(mm) |
放大倍率（β）
magnification |
適用被測(cè)口徑
Working aperture |
F15 |
151 |
0.56 |
Ф90~Ф150 |
F23 |
23 |
0.86 |
Ф50~Ф105 |
F37 |
37 |
1.39 |
Ф60以下 |
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